Le logiciel s’installe de manière autonome et son utilisation est simple et ergonomique. Le design modulaire de ce pack logiciel permet une grande flexibilité d’utilisation ; il permet également aux utilisateurs qui ne réalisent qu’un seul type de mesures répétitives, de n’acquérir que les modules dont ils ont réellement besoin. Les modules d’analyse permettent la mesure de profil, de rugosité, de surface, de volume et de hauteur. Toutes les mesures sont raccordables et peuvent être calibrées, elles sont conformes aux normes ISO en vigueur.

De nombreux utilisateurs de MeX, appartenant à des sociétés et des universités de pointe dans le monde entier, ont prouvé la performance du logiciel. Il leur permet d’obtenir des images et des analyses impossibles à atteindre auparavant avec des images MEB.

La combinaison de MEX et d’un MEB offre aussi une méthode pour acquérir des mesures 3D impossibles à réaliser par d’autres méthodes : elle permet de choisir exactement la zone à mesurer, de bénéficier de la résolution latérale du MEB supérieure aux systèmes optiques et de réaliser des mesures 3D à des endroits inaccessibles pour l’AFM.